تدور عملية تخطيط عملية التدقيق في وضع الاهداف وتحديد نطاق العمل، كما ينبغي الحصول على اكبر قدر ممكن من المعلومات لتكوين خلفية عن الانشطة الخاضعة للتدقيق، مع تحديد الموارد اللازمة لاداء عملية التدقيق والاتصال بجميع من لهم علاقة
بعملية التدقيق والانشطة الخاضعة لها، والعمل على تحديد الانشطة والمخاطر والاجراءات الرقابية اللازمة لبيان الجوانب التي تحتاج الى اهتمام اكثر وفحوصات اضافية اثناء عملية التدقيق وكتابة برامج التدقيق، كما ينبغي ان يتم الموافقة على خطة عمل التدقيق بصيغة مكتوبة من قبل مسؤول دائرة التدقيق او مصمم برنامج التدقيق، فضلا عن اخذ الموافقة على اية تغيرات او تعديلات تطرا على خطة عملية التدقيق خلال مدة محددة من مسؤول التدقيق الداخلي